敞開式直線光柵尺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、自動貼片機和測量機，以及所有需要極高測量精度的應(yīng)用。高質(zhì)量掃描信號不容或缺。為此，海德漢推出HSP 1.0全新信號處理ASIC芯片，歡迎觀看演示。平行排列兩套測量基準(zhǔn)。直線光柵尺讀數(shù)頭的滑座在測量基準(zhǔn)上運動。LIP 6000只用作準(zhǔn)確的參考基準(zhǔn)。兩個LIDA 48讀數(shù)頭并排安裝在頂部的光柵尺帶上，檢查測量值。在比較測量中，滑座在整個測量基準(zhǔn)上運動。同時，兩個LIDA讀數(shù)頭都在頂部光柵尺上遇到典型的污染情況：

·一條短氣泡帶

·一段絲線

·指印

·一滴環(huán)氧樹脂膠

當(dāng)LIDA讀數(shù)頭移過光柵尺時，信號幅值和位置值與LIP6000參考基準(zhǔn)的記錄值和顯示值不同。只需簡單比較，也能發(fā)現(xiàn)配HSP 1.0的LIDA讀數(shù)頭的信號明顯比較光滑。線性誤差補償后，可以直接比較測量結(jié)果，使用HSP 1.0后，波峰間的信號幅值幾乎穩(wěn)定在1伏，實際上減少位置誤差達(dá)一半?？梢哉f，海德漢編碼器提供穩(wěn)定的掃描信號，無需對其信號進(jìn)行穩(wěn)定處理。盡管如此，測量基準(zhǔn)或掃描掩膜的污染影響這些掃描信號。HSP 1.0信號處理ASIC芯片特別有效地降低污染的影響。確保持續(xù)穩(wěn)定的測量信號幾乎不受噪音或細(xì)分誤差的因素?？煽啃?、精度和功能性不受污染影響，依然保持高水平。

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